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一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室

阅读：299发布：2021-02-27

IPRDB可以提供一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室，其特征是：它由过渡室箱体、设置在过渡室箱体内的两套以上的线性动密封装置、箱体两端的导向装置、真空抽气管管道、铅挡板、铅挡板支架和设置在过渡室箱体外的防护铅组成；线性动密封装置的上下密封压块压紧在密封压板上，形成真空密封的线性动密封通道；动密封装置之间设置有带铅板的上下错开的X射线防护铅挡板，真空过渡室外包有防护铅，真空抽气管与真空泵相连。本发明的优点是：能在带状金属材料连续通过的运行状态下，保证真空工作室的真空度/压力达到0.5－1Pa；进出口处X射线剂量达到安全剂量，真空泵的负荷较小，真空设备长期连续稳定地运行，加工设备工作效率高。，下面是一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室专利的具体信息内容。

1、一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室，其特征 是：它由过渡室箱体(1)、设置在过渡室箱体(1)内的两套以上的线性动密封 装置(2)、设置在过渡室箱体(1)两端的导向装置(3)、真空抽气管管道(4)、 铅挡板(5)、铅挡板支架(6)和设置在过渡室箱体(1)外的防护铅(7)组成。

2、根据权利要求1所述的一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连 续真空过渡室，其特征是：线性动密封装置由可调式法兰密封框架(2-1)、盖 板(2-2)、上下密封压板(2-3)、上下密封压块(2-4)组成，上下密封压板(2-3) 的内侧与带状金属(8)的形状匹配，上下密封压板(2-3)之上为弹性材料的 上下密封压块(2-4)，密封压块(2-4)压紧在密封压板(2-3)上，形成真空 密封的线性动密封通道。

3、根据权利要求2所述的一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连 续真空过渡室，其特征是：所述的线性动密封通道设置2级以上。

4、根据权利要求1所述的一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连 续真空过渡室，其特征是：所述的铅档板(5)上下错开设置。

说明书全文

技术领域

本发明涉及一种连续真空过渡室，具体是一种具有线性真空动密封及X射线 防护功能的连续真空过渡室。

背景技术

大部分的电子束加工装置，是将被加工件封闭在一个独立的密闭真空仓内进 行的。这种装置在每次加工完一件或一批工件后要放大气将工件取出，然后装 入新的工件后再抽真空，达到电子束加工所需的工作真空后再进行加工，工作 效率低。
部分电子束连续加工装置/生产线，如连续电子束钢带真空镀膜生产线，采 用了压辊式的连续动密封方式，由于安装压辊需留出支撑位置，因此留出的漏 隙大，真空动密封效果不好，真空泵的负荷很大，需采用大功率真空泵来维持 所需的工作真空，并且真空泵容易损坏。
对于连续运行的电子束加工真空设备，特别是对于60KV以上的高压电子束 加工设备，X射线的防护会因为必须留出连续运行的进出口而变得较困难。

发明内容

本发明目的是要提供一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的真空过 渡室，它能在带状金属材料连续运行过程中，保证真空工作室的真空度/压力达 到0.5-1Pa，并使得在材料进出口处的X射线剂量达到国家规定的安全剂量。
实现本发明目的的技术方案是：
本发明连续真空过渡室由过渡室箱体、设置在过渡室箱体内的两套以上的线 性动密封装置、箱体两端的导向装置、真空抽气管管道、铅挡板、铅挡板支架 和设置在过渡室箱体外的防护铅组成。线性动密封装置又由可调式法兰密封框 架、盖板、上下密封压板、上下密封压块组成。上下密封压板的内侧与带状金 属的形状匹配，上下密封压板之上为弹性材料的上下密封压块，密封压块压紧 在密封压板上，形成真空密封的线性动密封通道。这样的密封通道设置2级以 上。动密封装置之间设置有带铅板的上下错开的X射线防护铅挡板，防护铅档 板设置在铅挡板支架上，真空过渡室外包有防护铅，真空抽气管与真空泵相连。
本真空过渡室的工作过程是：外侧导向装置对带状金属材料起定位导向作 用，生产线上的牵引机使金属材料在过渡室前进，经过2级以上的线性动密封 装置、密封通道将大气压逐渐降低，使带状金属材料在运行过程中实现连续真 空气锁，通过抽气管抽气能使在带状金属连续通过的状况下，箱内的真空度达 到0.5-1Pa。过渡室内的X射线防护铅档板及过渡室外的防护铅层可使X射线衰 减到安全剂量以下。
本发明的优点是：在电子束加工设备的真空室左右两侧各装一套导向装置， 在真空室内设置2级以上的线性动密封，能在带状金属材料连续通过的运行状 态下，保证真空工作室的真空度/压力达到0.5-1Pa；进出口处X射线剂量达到 安全剂量，真空泵的负荷较小，能保证真空设备长期连续稳定地运行。这种连 续运行的电子束加工设备工作效率高。

附图说明

图1为本发明连续真空过渡室结构示意图。
图中：1.过渡室箱体2.过渡室内的线性动密封装置2-1.可调式法兰密封 框架2-2.盖板2-3.上下密封压板2-4.上下密封压块3.箱体两端的 导向装置4.真空抽气管管道5.铅档板6.铅档板支架7.过渡箱外的防护 铅8.带状金属

具体实施方式

本发明连续真空过渡室由过渡室箱体1、过渡室内的线性动密封装置2、可 调式法兰密封框架2-1、盖板2-2、上下密封压板2-3、上下密封压块2-4、箱 体两端的导向装置3、真空抽气管管道4、铅档板5、铅档板支架6、过渡箱外 的防护铅7组成，上下密封压板2-3用摩擦系数小的材料制成，上下密封压板 2-3的内侧与带状金属8的形状匹配，上下密封压板2-3之上为弹性材料制成的 上下密封压块2-4，密封通道设置2级以上，形成线性动密封装置2，在线性动 密封装置2之间设置带铅板的上下错开的X射线铅档板5，铅档板5设置在铅档 板支架6上，过渡室箱体1外设置防护铅7，真空抽气管管道4与真空泵连通。
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