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一种具有混镀的高效真空电镀装置

阅读：829发布：2021-02-26

IPRDB可以提供一种具有混镀的高效真空电镀装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种具有混镀的高效真空电镀装置，包括拼装门、真空镀膜机、圆柱耙、工件转架，所述拼装门一端安装有平面耙，所述真空镀膜机与拼装门固定，所述圆柱耙环设在转盘上方，所述工件转架与真空镀膜机之间通过连接轴固定，且连接轴顶端与真空镀膜机内壁之间设有轴承。本实用新型通过在圆柱耙外侧安装平面耙，在弧源的作用下第一靶材电镀到第二靶材，然后溅射到工件表面，形成不同的颜色效果和提高耐磨程度，平面耙与拼装门之间安装有偏压电源接口，便于在镀膜工艺流程中为工件提供正负偏压，改变电镀颜色效果，转盘在步进电机带动下，使得圆柱耙旋转电镀，能够覆盖到产品的任意面，结构合理，适合广泛推广。，下面是一种具有混镀的高效真空电镀装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种具有混镀的高效真空电镀装置，包括拼装门(1)、真空镀膜机(5)、圆柱耙(7)和工件转架(14)，其特征在于：所述拼装门(1)一端安装有平面耙(2)，所述平面耙(2)一侧设置有弧源(3)，且平面耙(2)上放置有第一靶材(11)，所述弧源(3)连接在固定板(16)侧面，所述固定板(16)顶端设有弧源电源(8)，所述弧源电源(8)一侧设有靶材电源(9)，所述真空镀膜机(5)与拼装门(1)固定，且真空镀膜机(5)外围固定安装有真空系统(4)，所述圆柱耙(7)环设在转盘(6)上方，且圆柱耙(7)上放置有第二靶材(15)，所述转盘(6)底部焊接有旋转轴(18)，所述旋转轴(18)一点固定在步进电机(19)输出端，所述步进电机(19)安装在底座(17)内，所述工件转架(14)与真空镀膜机(5)之间通过连接轴(13)固定，且连接轴(13)顶端与真空镀膜机(5)内壁之间设有轴承(12)。

2.根据权利要求1所述的一种具有混镀的高效真空电镀装置，其特征在于：所述平面耙(2)与拼装门(1)之间安装有偏压电源接口(10)。

3.根据权利要求1所述的一种具有混镀的高效真空电镀装置，其特征在于：所述第一靶材(11)和第二靶材(15)为不同耐磨程度的金属材料。

4.根据权利要求1所述的一种具有混镀的高效真空电镀装置，其特征在于：所述平面耙(2)正对弧源(3)，且弧源(3)设置在平面耙(2)与圆柱耙(7)中间。

5.根据权利要求1所述的一种具有混镀的高效真空电镀装置，其特征在于：所述拼装门(1)与真空镀膜机(5)安装端口设有密封圈。

说明书全文

一种具有混镀的高效真空电镀装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，特别涉及一种具有混镀的高效真空电镀装置。

背景技术

[0002] 真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，但是已有的镀膜设备的耙材安装于炉内两边或者单边，耙与耙有一定的距离，混合的均匀度不均，难控制，致使调机次数频繁，浪费人力、物力及材料，使得电镀的金属材料不均匀，颜色也不明显，无法达到高效镀膜的效果，大大提高了企业的经营成本，也降低生产的效率。因此我们对此做出改进，提出一种具有混镀的高效真空电镀装置。实用新型内容

[0003] 本实用新型的主要目的在于提供一种具有混镀的高效真空电镀装置，可以有效解决背景技术中的问题。

[0004] 为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

[0005] 一种具有混镀的高效真空电镀装置，包括拼装门、真空镀膜机、圆柱耙和工件转架，所述拼装门一端安装有平面耙，所述平面耙一侧设置有弧源，且平面耙上放置有第一靶材，所述弧源连接在固定板侧面，所述固定板顶端设有弧源电源，所述弧源电源一侧设有靶材电源，所述真空镀膜机与拼装门固定，且真空镀膜机外围固定安装有真空系统，所述圆柱耙环设在转盘上方，且圆柱耙上放置有第二靶材，所述转盘底部焊接有旋转轴，所述旋转轴一点固定在步进电机输出端，所述步进电机安装在底座内，所述工件转架与真空镀膜机之间通过连接轴固定，且连接轴顶端与真空镀膜机内壁之间设有轴承。

[0006] 进一步地，所述平面耙与拼装门之间安装有偏压电源接口。

[0007] 进一步地，所述第一靶材和第二靶材为不同耐磨程度的金属材料。

[0008] 进一步地，所述平面耙正对弧源，且弧源设置在平面耙与圆柱耙中间。

[0009] 进一步地，所述拼装门与真空镀膜机安装端口设有密封圈。

[0010] 与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该种具有混镀的高效真空电镀装置，通过在圆柱耙外侧安装平面耙，在弧源的作用下第一靶材电镀到第二靶材，然后溅射到工件表面，使得电镀效果均匀，形成不同的颜色效果和提高耐磨程度，平面耙与拼装门之间安装有偏压电源接口，便于在镀膜工艺流程中为工件提供正负偏压，改变电镀颜色效果，转盘在步进电机带动下，使得圆柱耙旋转电镀，能够覆盖到产品的任意面，结构合理，功能使用方便，适合广泛推广。

附图说明

[0011] 图1为本实用新型一种具有混镀的高效真空电镀装置的俯视图。

[0012] 图2为本实用新型一种具有混镀的高效真空电镀装置的主视图。

[0013] 图中：1、拼装门；2、平面耙；3、弧源；4、真空系统；5、真空镀膜机；6、转盘；7、圆柱耙；8、弧源电源；9、靶材电源；10、偏压电源接口；11、第一靶材；12、轴承；13、连接轴；14、工件转架；15、第二靶材；16、固定板；17、底座；18、旋转轴；19、步进电机。

具体实施方式

[0014] 为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

[0015] 如图1-2所示，一种具有混镀的高效真空电镀装置，包括拼装门1、真空镀膜机5、圆柱耙7和工件转架14，所述拼装门1一端安装有平面耙2，所述平面耙2一侧设置有弧源3，且平面耙2上放置有第一靶材11，所述弧源3连接在固定板16侧面，所述固定板16顶端设有弧源电源8，所述弧源电源8一侧设有靶材电源9，所述真空镀膜机5与拼装门1固定，且真空镀膜机5外围固定安装有真空系统4，所述圆柱耙7环设在转盘6上方，且圆柱耙7上放置有第二靶材15，所述转盘6底部焊接有旋转轴18，所述旋转轴18一点固定在步进电机19输出端，所述步进电机19安装在底座17内，所述工件转架14与真空镀膜机5之间通过连接轴13固定，且连接轴13顶端与真空镀膜机5内壁之间设有轴承12。

[0016] 其中，所述平面耙2与拼装门1之间安装有偏压电源接口10，便于在镀膜工艺流程中为工件提供正负偏压。

[0017] 其中，所述第一靶材11和第二靶材15为不同耐磨程度的金属材料，便于增加不同的颜色效果以及使用寿命。

[0018] 其中，所述平面耙2正对弧源3，且弧源3设置在平面耙2与圆柱耙7中间，便于靶材先镀到靶材上，再镀到产品表面。

[0019] 其中，所述拼装门1与真空镀膜机5安装端口设有密封圈，便于保持真空度。

[0020] 需要说明的是，本实用新型为一种具有混镀的高效真空电镀装置，工作时，启动真空镀膜机5设备，通过在圆柱耙7外侧安装平面耙2，在弧源3的作用下第一靶材11电镀到第二靶材15，然后溅射到工件表面，使得电镀效果均匀，形成不同的颜色效果和提高耐磨程度，平面耙2与拼装门1之间安装有偏压电源接口10，便于在镀膜工艺流程中为工件提供正负偏压，改变电镀颜色效果，转盘6在步进电机19带动下，使得圆柱耙7旋转电镀，能够覆盖到产品的任意面，该种混镀的方法，使产品表面膜层更均匀，方便控制，节约人力电力及材料成本。

[0021] 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

标题	发布/更新时间	阅读量
电镀装置-专利编号CN1865519B	2020-05-11	562
镀膜装置-专利编号CN1422340A	2020-05-12	71
电镀装置-专利编号CN102851723A	2020-05-11	663
镀膜装置-专利编号CN1227384C	2020-05-12	72
电镀装置-专利编号CN102851723B	2020-05-13	252
电镀装置-专利编号CN1126829C	2020-05-12	980
镀覆装置-专利编号CN104651812B	2020-05-13	549
电镀装置-专利编号CN1831209A	2020-05-11	1026
镀铜液-专利编号CN103748269B	2020-05-11	999
电镀方法-专利编号CN110735158A	2020-05-13	447

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