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1. 发明专利

TW201826341A 基板處理方法及基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TW201826341A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106144716
申请日：2017-12-20
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 上田大 , UEDA, DAI , 佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/304 , F26B5/04
摘要：本發明提供一種可減少基板上之圖案之倒塌之基板處理方法及基板處理裝置。本發明之基板處理方法之特徵在於：包含對基板W之圖案形成面供給含有熔解狀態之昇華性物質之處理液的供給步驟S13、使上述處理液於上述圖案形成面上凝固而形成凝固體63的凝固步驟S14、使凝固體63昇華而自上述圖案形成面去除的昇華步驟S15、以及將凝固體63昇華時於昇華界面析出之有機物去除的有機物去除步驟S16、S17，且有機物去除步驟S16、S17與昇華步驟S15至少重疊進行。
简体摘要：本发明提供一种可减少基板上之图案之倒塌之基板处理方法及基板处理设备。本发明之基板处理方法之特征在于：包含对基板W之图案形成面供给含有熔解状态之升华性物质之处理液的供给步骤S13、使上述处理液于上述图案形成面上凝固而形成凝固体63的凝固步骤S14、使凝固体63升华而自上述图案形成面去除的升华步骤S15、以及将凝固体63升华时于升华界面析出之有机物去除的有机物去除步骤S16、S17，且有机物去除步骤S16、S17与升华步骤S15至少重叠进行。

2. 发明专利

TWI690989B 基板處理方法及基板處理裝置有权
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TWI690989B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW108104885
申请日：2019-02-14
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：上田大 , UEDA, DAI , 佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA , 塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 北川広明 , KITAGAWA, HIROAKI
IPC分类号： H01L21/304

3. 发明专利

TW201911399A 基板處理方法及基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TW201911399A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107115371
申请日：2018-05-07
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02 , F26B5/04
摘要：本發明之基板處理方法之特徵在於：其係進行基板之圖案形成面之乾燥處理之基板處理方法，且包括如下步驟：對上述基板之圖案形成面供給含有昇華性物質之處理液的供給步驟，藉由調節上述基板之溫度，而將供給至該基板之圖案形成面之上述處理液控制為上述昇華性物質之熔點以上且未達沸點之溫度範圍的調溫步驟，使調溫後之上述處理液於上述圖案形成面上凝固而形成凝固體的凝固步驟，及使上述凝固體昇華而自上述圖案形成面去除的昇華步驟；並且上述調溫步驟與上述供給步驟至少一部分重疊進行，且至少於上述凝固步驟前結束。
简体摘要：本发明之基板处理方法之特征在于：其系进行基板之图案形成面之干燥处理之基板处理方法，且包括如下步骤：对上述基板之图案形成面供给含有升华性物质之处理液的供给步骤，借由调节上述基板之温度，而将供给至该基板之图案形成面之上述处理液控制为上述升华性物质之熔点以上且未达沸点之温度范围的调温步骤，使调温后之上述处理液于上述图案形成面上凝固而形成凝固体的凝固步骤，及使上述凝固体升华而自上述图案形成面去除的升华步骤；并且上述调温步骤与上述供给步骤至少一部分重叠进行，且至少于上述凝固步骤前结束。

4. 发明专利

TWI651295B 基板處理裝置及基板處理方法有权
简体标题：基板处理设备及基板处理方法
公开(公告)号：TWI651295B
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：TW106137740
申请日：2017-11-01
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA , 塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE
IPC分类号： C07C23/10 , C07C23/14 , F26B5/06 , H01L21/304

5. 发明专利

TW201825447A 基板處理裝置及基板處理方法审中-公开
简体标题：基板处理设备及基板处理方法
公开(公告)号：TW201825447A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106137740
申请日：2017-11-01
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA , 塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE
IPC分类号： C07C23/10 , C07C23/14 , F26B5/06 , H01L21/304
摘要：本發明之基板處理裝置之特徵在於：具備對基板之圖案形成面供給含有融解狀態之昇華性物質之處理液的供給機構、使上述處理液於上述圖案形成面上凝固而形成凝固體的凝固機構、使上述凝固體昇華而自上述圖案形成面去除的昇華機構，上述處理液之20℃～25℃下之蒸氣壓為5 kPa以上，20℃～25℃下之表面張力為25 mN/m以下。
简体摘要：本发明之基板处理设备之特征在于：具备对基板之图案形成面供给含有融解状态之升华性物质之处理液的供给机构、使上述处理液于上述图案形成面上凝固而形成凝固体的凝固机构、使上述凝固体升华而自上述图案形成面去除的升华机构，上述处理液之20℃～25℃下之蒸气压为5 kPa以上，20℃～25℃下之表面张力为25 mN/m以下。

6. 发明专利

TWI692604B 基板乾燥方法及基板乾燥裝置有权
简体标题：基板干燥方法及基板干燥设备
公开(公告)号：TWI692604B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：TW107123096
申请日：2018-07-04
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA
IPC分类号： F26B21/00 , F26B3/04 , H01L21/304

7. 发明专利

TWI677022B 基板處理方法及基板處理裝置有权
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TWI677022B
公开(公告)日：2019-11-11
申请号：TW107115371
申请日：2018-05-07
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02 , F26B5/04

8. 发明专利

TWI645030B 基板處理裝置及基板處理方法有权
简体标题：基板处理设备及基板处理方法
公开(公告)号：TWI645030B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：TW106114759
申请日：2017-05-04
申请人：斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA , 塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 灘原壮一 , NADAHARA, SOICHI , 上田大 , UEDA, DAI , 北川広明 , KITAGAWA, HIROAKI , 奧村勝弥 , OKUMURA, KATSUYA
IPC分类号： C11D7/30 , C11D7/26 , C11D11/00 , B08B3/08 , H01L21/67 , H01L21/02

9. 发明专利

TWI632600B 基板洗淨方法及基板洗淨裝置有权
简体标题：基板洗净方法及基板洗净设备
公开(公告)号：TWI632600B
公开(公告)日：2018-08-11
申请号：TW105115163
申请日：2016-05-17
申请人：思可林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA , 塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 宮勝彥 , MIYA, KATSUHIKO
IPC分类号： H01L21/30

10. 发明专利

TWI558476B 基板清潔方法及基板清潔裝置有权
简体标题：基板清洁方法及基板清洁设备
公开(公告)号：TWI558476B
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：TW104113100
申请日：2015-04-23
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：塙洋祐 , HANAWA, YOSUKE , 宮勝彥 , MIYA, KATSUHIKO , 佐佐木悠太 , SASAKI, YUTA
IPC分类号： B08B3/12 , B08B11/00 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02057 , B08B3/12 , B08B2203/0288 , C11D11/0047 , C11D11/007 , G03F1/82 , H01L21/67051

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