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一种硅片手动脱胶装置

阅读：510发布：2021-02-27

IPRDB可以提供一种硅片手动脱胶装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种硅片手动脱胶装置，涉及半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，包括提篮、固定基座和硅片接片槽，固定基座和硅片接片槽从上到下依次悬设于提篮内，固定基座用于卡设装有切割后未脱胶硅片的工件夹板，切割后未脱胶硅片随工件夹板一同倒挂于提篮内的固定基座上，切割后未脱胶硅片由于自重自动脱落于固定基座下方的硅片接片槽中进行脱胶。本发明有益效果：本发明提供了一种硅片手动脱胶装置实现倒挂对硅棒进行手动脱胶，结构简单，设置合理，有效解决了现有脱胶工艺中存在的问题。，下面是一种硅片手动脱胶装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：包括提篮（1）、固定基座（2）和硅片接片槽（3），固定基座（2）和硅片接片槽（3）从上到下依次悬设于提篮（1）内，固定基座（2）用于卡设装有切割后未脱胶硅片（4）的工件夹板（5），切割后未脱胶硅片（4）随工件夹板（5）一同倒挂于提篮（1）内的固定基座（2）上，切割后未脱胶硅片（4）由于自重自动脱落于固定基座（2）下方的硅片接片槽（3）中进行脱胶。

2.根据权利要求1所述的一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：所述固定基座（2）包括2个与提篮（1）内部形状相适应的长方体底座Ⅰ（21），在2个长方体底座Ⅰ（21）相对的一侧分别设有与工件夹板（5）端部形状相适应的卡槽（22），在每个长方体底座Ⅰ（21）的两端底部分别设有固定片（23），每个固定片（23）上分别开设有2个固定孔（24），所述提篮（1）两侧与固定孔（24）对应的位置分别设有固定基座安装孔（12），固定基座安装孔（12）与固定孔（24）位置对应并固定螺丝（25）实现对固定基座（2）的固定。

3.根据权利要求1所述的一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：所述硅片接片槽（3）包括与提篮（1）内形状相适应的长方体底座Ⅱ（31），长方体底座Ⅱ（31）上开设用于接收切割后未脱胶硅片（4）的长槽（32），在长方体底座Ⅱ两端的底部分别设有连接件（33），连接件（33）上均开设有一个通孔（34），所述提篮（1）的两侧与连接件（33）上通孔（34）对应位置也分别开设有提篮穿孔（13），固定丝杆（7）依次穿过提篮穿孔（13）和通孔（34）后拧紧螺帽（36）实现对硅片接片槽（3）的固定。

4.根据权利要求1所述的一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：所述硅片接片槽（3）的底部设有排水槽，在硅片完全脱胶后，把装有已脱胶硅片的提篮（1）从脱胶水槽（6）中抬出，硅片接片槽（3）中的水从排水槽排出。

5.根据权利要求1所述的一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：所述提篮（1）的两端分别设有方便移动提篮（1）的提手（11）。

6.根据权利要求2所述的一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：所述固定基座安装孔（12）为长方形。

7.根据权利要求3所述的一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：所述手动脱胶装置还包括用于调节硅片接片槽（3）长度的定距挡板（8），硅片接片槽（3）的长槽（32）两侧对应设有多对定距挡板固定槽（35），定距挡板（8）两端卡设在长槽（32）两侧对应的一对定距挡板固定槽（35）中以实现对不同长度的硅棒脱胶。

8.根据权利要求3所述的一种硅片手动脱胶装置，其特征在于：所述硅片接片槽（3）的长槽（32）为四氟半圆形槽体以减少硅片与槽壁的碰撞。

说明书全文

一种硅片手动脱胶装置

技术领域

[0001] 本发明属于半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，具体涉及一种硅片手动脱胶装置。

背景技术

[0002] 半导体硅棒与工件板的固定通常是用胶水来实现的，目的是使硅棒在切割过程中不移动，一般使用的都是环氧树脂，俗称AB胶。在经过线切割后的首个工序就是脱胶清洗，把切割成片的硅棒从工件夹板上完整的取下来，这就需要对硅片进行脱胶处理，脱胶时所需的液体温度根据所使用的粘接剂来定，其原理是粘接剂在一定的温度范围内会软化，硅片自动从工件板上完整的脱落。

[0003] 现有脱胶工艺为硅棒朝上平放手动脱胶。线切割机的切割速度快，根部附着面积小，在脱胶过程中，硅片在没有完全脱离工件夹板时出现倾倒，会发生根部断裂的情况，造成损失。针对这个问题，采取倒挂手动脱胶方式来解决。

发明内容

[0004] 本发明所要解决的技术问题是提供一种硅片手动脱胶装置，有效解决背景技术中提到的原有脱胶工艺存在的问题，降低了生产设备成本。

[0005] 本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种硅片手动脱胶装置，包括提篮、固定基座和硅片接片槽，固定基座和硅片接片槽从上到下依次悬设于提篮内，固定基座用于卡设装有切割后未脱胶硅片的工件夹板，切割后未脱胶硅片随工件夹板一同倒挂于提篮内的固定基座上，切割后未脱胶硅片由于自重自动脱落于固定基座下方的硅片接片槽中进行脱胶。

[0006] 本发明所述固定基座包括2个与提篮内部形状相适应的长方体底座Ⅰ，在2个长方体底座Ⅰ相对的一侧分别设有与工件夹板端部形状相适应的卡槽，在每个长方体底座Ⅰ的两端底部分别设有固定片，每个固定片上分别开设有2个固定孔，所述提篮两侧与固定孔对应的位置分别设有固定基座安装孔，固定基座安装孔与固定孔位置对应并固定螺丝实现对固定基座的固定。

[0007] 本发明所述硅片接片槽包括与提篮内形状相适应的长方体底座Ⅱ，长方体底座Ⅱ上开设用于接收切割后未脱胶硅片的长槽，在长方体底座Ⅱ两端的底部分别设有连接件，连接件上均开设有一个通孔，所述提篮的两侧与连接件上通孔对应位置也分别开设有提篮穿孔，固定丝杆依次穿过提篮穿孔和通孔后拧紧螺帽实现对硅片接片槽的固定。

[0008] 本发明所述硅片接片槽的底部设有排水槽，在硅片完全脱胶后，把装有已脱胶硅片的提篮从脱胶水槽中抬出，硅片接片槽中的水从排水槽排出。

[0009] 本发明所述提篮的两端分别设有方便移动提篮的提手。

[0010] 本发明所述固定基座安装孔为长方形。

[0011] 本发明所述手动脱胶装置还包括用于调节硅片接片槽长度的定距挡板，硅片接片槽的长槽两侧对应设有多对定距挡板固定槽，定距挡板两端卡设在长槽两侧对应的一对定距挡板固定槽中以实现对不同长度的硅棒脱胶。

[0012] 本发明所述硅片接片槽的长槽为四氟半圆形槽体以减少硅片与槽壁的碰撞。本发明的有益效果是：本发明提供了一种硅片手动脱胶装置实现倒挂对硅棒进行手动脱胶，结构简单，设置合理，有效解决了现有脱胶工艺中存在的在脱胶过程中，硅片在没有完全脱离工件夹板时出现倾倒，会发生根部断裂的情况，造成损失等问题，提高产品合格率，减少生产成本。

附图说明

[0013] 图1为本发明提篮整体结构示意图；图2为本发明固定基座整体结构示意图；
图3为本发明硅片接片槽整体结构示意图；
图4为本发明卡设有切割后未脱胶硅片的工件夹板的结构示意图；
图5为本发明定距挡板的整体结构示意图；
图6为本发明使用状态示意图。

[0014] 图中标记：1、提篮，11、提手，12、固定基座安装孔，13、提篮穿孔，2、固定基座，21、长方体底座Ⅰ，22、卡槽，23、固定片，24、固定孔，25、固定螺丝，3、硅片接片槽，31、长方体底座Ⅱ，32、长槽，33、连接件，34、通孔，35、定距挡板固定槽，36、螺帽，4、切割后未脱胶硅片，5、工件夹板，6、脱胶水槽，7、固定丝杆，8、定距挡板，81、挡板本体，82、卡块，83、圆弧体，84、提拉孔。

具体实施方式

[0015] 下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式进行详细的阐述和说明。

[0016] 如图所示，一种硅片手动脱胶装置，包括提篮1、固定基座2和硅片接片槽3，固定基座2和硅片接片槽3从上到下依次悬设于提篮1内，固定基座2用于卡设装有切割后未脱胶硅片4的工件夹板5，切割后未脱胶硅片4随工件夹板5一同倒挂于提篮1内的固定基座2上，切割后未脱胶硅片4由于自重自动脱落于固定基座2下方的硅片接片槽3中进行脱胶，此种方式可避免硅片倾斜。

[0017] 进一步地，所述固定基座2包括2个与提篮1内部形状相适应的长方体底座Ⅰ21，在2个长方体底座Ⅰ21相对的一侧分别设有与工件夹板5端部形状相适应的卡槽22，在每个长方体底座Ⅰ21的两端底部分别设有固定片23，每个固定片23上分别开设有2个固定孔24，所述提篮1两侧与固定孔24对应的位置分别设有固定基座安装孔12，固定基座安装孔12与固定孔24位置对应并固定螺丝25实现对固定基座2的固定。

[0018] 进一步地，所述硅片接片槽3包括与提篮1内形状相适应的长方体底座Ⅱ31，长方体底座Ⅱ31上开设用于接收切割后未脱胶硅片4的长槽32，在长方体底座Ⅱ两端的底部分别设有连接件33，连接件33上均开设有一个通孔34，所述提篮1的两侧与连接件33上通孔34对应位置也分别开设有提篮穿孔13，固定丝杆7依次穿过提篮穿孔13和通孔34后拧紧螺帽36实现对硅片接片槽3的固定。

[0019] 进一步地，所述硅片接片槽3的底部设有排水槽，在硅片完全脱胶后，把装有已脱胶硅片的提篮1从脱胶水槽6中抬出，硅片接片槽3中的水从排水槽排出。

[0020] 进一步地，所述提篮1的两端分别设有方便移动提篮1的提手11。

[0021] 进一步地，所述固定基座安装孔12为长方形，在使用不同工件夹板5时，便于调节间距。

[0022] 进一步地，所述手动脱胶装置还包括用于调节硅片接片槽3长度的定距挡板8，硅片接片槽3的长槽32两侧对应设有多对定距挡板固定槽35，定距挡板8两端卡设在长槽32两侧对应的一对定距挡板固定槽35中以实现对不同长度的硅棒脱胶。

[0023] 进一步地，所述硅片接片槽3的长槽32为四氟半圆形槽体以减少硅片与槽壁的碰撞。

[0024] 进一步地，所述定距挡板8包括挡板本体81，挡板本体81的下方固定设置与长槽32弧度相适应的圆弧体83，挡板本体81的两端分别设置一卡块82，对不同长度的硅棒脱胶时，卡块82根据需要卡在硅片接片槽3上的对应的固定槽35内。

[0025] 进一步地，所述提篮1为不锈钢提篮。

[0026] 本发明具体使用操作方法：在使用时，把硅片接片槽3放置在提篮1中，把固定丝杆7依次穿过提篮穿孔13和通孔34并按序拧紧螺帽36即可固定硅片接片槽3；把固定基座2卡放于不锈钢提篮1上，让固定基座安装孔12与固定孔24对齐，并固定螺丝25即可固定固定基座2；把工件夹板5两端对准卡槽
22，使工件夹板5与相连的切割后未脱胶硅片4倒挂于固定基座2；把装有切割后未脱胶硅片
4的不锈钢提篮1放置在脱胶水槽6中，等待脱胶。如果有长度过短的硅棒需要脱胶，可把定距挡板8插入接近该长度硅棒的定距挡板固定槽35，进一步保证硅棒不易倾倒。硅棒完全脱胶后，把装有已脱胶硅棒的不锈钢提篮1抬出，此时，硅片接片槽3中的水会从排水槽中排出。

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