北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司|专利百科

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该申请人涉及专利文献：2375，涉及专利：1585件

覆盖主要的IPC大类包括：H01(1077)、C23(489)、H05(152)、G05(132)、G01(47)、G06(41)、C30(39)、B08(33)、B81(29)、B65(18)

专利类型分布状况：发明公开(1514)、实用新型(71)

专利不同法律状态数据分布状况：有效专利(1197)、无效专利(329)、失效专利(50)、实质审查(9)

该领域主要的发明人有：南建辉(49)、韦刚(42)、管长乐(37)、白志民(33)、彭宇霖(31)、陈鹏(27)、徐亚伟(25)、荣延栋(25)、刘利坚(23)、蒲春(23)

详细地址：中国北京市北京经济技术开发区北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 100176

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专利类型	专利名称	文献号
发明公开	冷却腔室及半导体加工设备	CN107195567A
发明公开	一种表面波等离子体装置	CN107155256A
发明授权	半导体工艺设备中物料移动控制的方法及系统	CN104752268B
发明授权	反应腔加热控制方法及装置	CN104750140B
发明授权	半导体制造的工艺任务处理方法及系统	CN104750046B
发明授权	半导体工艺配方加载方法及系统	CN104750045B
发明授权	阻抗匹配方法及阻抗匹配系统	CN104425201B
发明公开	一种反应腔室和半导体设备	CN106971932A
发明授权	上电极组件进气装置及上电极组件	CN104752131B
发明授权	一种工艺气体互锁的控制方法和系统	CN104281141B
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排名	企业名称	专利
1	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	2375

排名	发明人	专利
1	南建辉	49
2	韦刚	42
3	管长乐	37
4	白志民	33
5	彭宇霖	31
6	陈鹏	27
7	徐亚伟	25
8	荣延栋	25
9	刘利坚	23
10	蒲春	23

排名	企业名称	专利
1	北京天昊联合知识产权代理有限公司	953
2	北京凯特来知识产权代理有限公司	318
3	北京清亦华知识产权代理事务所	251
4	北京路浩知识产权代理有限公司	219
5	广州华进联合专利商标代理有限公司	143
6	北京集佳知识产权代理有限公司	138
7	北京润泽恒知识产权代理有限公司	134
8	北京中博世达专利商标代理有限公司	115
9	北京市德权律师事务所	24
10	北京邦信阳专利商标代理有限公司	16

排名	代理人	专利
1	张天舒	951
2	彭瑞欣	679
3	陈源	274
4	赵镇勇	232
5	逯长明	138
6	宋合成	117
7	申健	114
8	苏培华	110
9	陈振	97
10	黄德海	92