该申请人涉及专利文献：2375，涉及专利：1707件
覆盖主要的IPC大类包括：H01(1163)、C23(537)、H05(163)、G05(133)、G01(47)、C30(43)、G06(43)、B08(33)、B81(31)、B25(20)
专利类型分布状况：发明公开(1514)、发明申请(122)、实用新型(71)
专利不同法律状态数据分布状况：有效专利(1180)、无效专利(330)、公开(122)、失效专利(67)、实质审查(8)
该领域主要的发明人有：南建辉(55)、韦刚(44)、管长乐(38)、彭宇霖(34)、白志民(34)、陈鹏(31)、徐亚伟(27)、刘利坚(25)、荣延栋(25)、周卫国(23)
详细地址：中国 北京市 北京经济技术开发区 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 100176
| 专利类型 | 专利名称 | 文献号 |
|---|---|---|
| 发明公开 | 冷却腔室及半导体加工设备 | CN107195567A |
| 发明公开 | 一种表面波等离子体装置 | CN107155256A |
| 发明授权 | 半导体工艺设备中物料移动控制的方法及系统 | CN104752268B |
| 发明授权 | 反应腔加热控制方法及装置 | CN104750140B |
| 发明授权 | 半导体制造的工艺任务处理方法及系统 | CN104750046B |
| 发明授权 | 半导体工艺配方加载方法及系统 | CN104750045B |
| 发明授权 | 阻抗匹配方法及阻抗匹配系统 | CN104425201B |
| 发明公开 | 一种反应腔室和半导体设备 | CN106971932A |
| 发明授权 | 上电极组件进气装置及上电极组件 | CN104752131B |
| 发明授权 | 一种工艺气体互锁的控制方法和系统 | CN104281141B |
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 2497 |
| 排名 | 发明人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 南建辉 | 55 |
| 2 | 韦刚 | 44 |
| 3 | 管长乐 | 38 |
| 4 | 彭宇霖 | 34 |
| 5 | 白志民 | 34 |
| 6 | 陈鹏 | 31 |
| 7 | 徐亚伟 | 27 |
| 8 | 刘利坚 | 25 |
| 9 | 荣延栋 | 25 |
| 10 | 周卫国 | 23 |
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 1074 |
| 2 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 318 |
| 3 | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 251 |
| 4 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 220 |
| 5 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 143 |
| 6 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 138 |
| 7 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 134 |
| 8 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 115 |
| 9 | 北京市德权律师事务所 | 24 |
| 10 | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 16 |
| 排名 | 代理人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 张天舒 | 951 |
| 2 | 彭瑞欣 | 679 |
| 3 | 陈源 | 274 |
| 4 | 赵镇勇 | 232 |
| 5 | 逯长明 | 138 |
| 6 | 宋合成 | 117 |
| 7 | 申健 | 114 |
| 8 | 苏培华 | 110 |
| 9 | 陈振 | 97 |
| 10 | 黄德海 | 92 |