一种硅片减薄砂轮专利检索-硅片太阳能电池太阳能专利检索查询-专利查询网

积极推动地理标志专门立法

2022-03-10 地理标志，立法，知识产权
保护知识产权是对创新最大的激励

2022-03-10 保护知识产权，创新，激励
谢商华：加快制定知识产权基本法

2022-03-10 知识产权基本法
擦亮“双奥之城”品牌

2022-03-10 双奥，知识产权
让冰雪运动“热”力全开

2022-03-10 冰雪运动，知识产权
携手共奋进　走好强国路

2022-03-10 强国，知识产权
坚持创新引领　方能稳中求进

2022-03-10 创新，稳中求进，知识产权
答好“两张卷” 奋进新征程

2022-03-10 知识产权
专家解读政府工作报告中的创新和知识产权相关部署

2022-03-10 政府工作报告，创新，知识产权
今年政府工作报告指出：加强知识产权保护和运用

2022-03-10 政府工作报告，知识产权保护

一种硅片减薄砂轮

阅读：26发布：2020-05-11

IPRDB可以提供一种硅片减薄砂轮专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种硅片减薄砂轮，包括：环形基体；位于所述环形基体一端面上的至少一圈砂轮齿，所述砂轮齿通过粘接剂与所述环形基体端面固定连接。根据本发明实施例的硅片减薄砂轮，将砂轮齿直接通过粘接剂与环形基体端面固定连接，无需在环形基体端面开设安装槽，从而使砂轮齿的有效利用长度增加，降低了生产成本。，下面是一种硅片减薄砂轮专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种硅片减薄砂轮，其特征在于，包括：

环形基体；

位于所述环形基体一端面上的至少一圈砂轮齿，所述砂轮齿通过粘接剂与所述环形基体端面固定连接。

2.根据权利要求1所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，所述砂轮齿所在的所述环形基体一端面的粗糙度范围为1.6～800μm。

3.根据权利要求1所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，所述砂轮齿的横截面面积自与所述环形基体连接的一端向另一端逐渐减小。

4.根据权利要求3所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，所述砂轮齿的横截面形状为圆形、椭圆形、多边形中的任意一种。

5.根据权利要求4所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，同一圈中的各所述砂轮齿呈间隔设置，且相邻两个所述砂轮齿的形状互不相同。

6.根据权利要求1所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，还包括：位于所述砂轮齿所在的所述环形基体一端面的至少一圈排水孔，所述一圈排水孔与所述一圈砂轮齿呈同圆心设置。

7.根据权利要求1所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，所述砂轮齿的圈数为两圈，两圈所述砂轮齿呈同圆心设置。

8.根据权利要求1所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，每一所述砂轮齿的质量相同。

9.根据权利要求1所述的硅片减薄砂轮，其特征在于，所述环形基体采用铝合金材料制成，所述砂轮齿采用金刚石材料制成。

说明书全文

一种硅片减薄砂轮

技术领域

[0001] 本发明涉及硅片加工技术领域,具体涉及一种硅片减薄砂轮。

背景技术

[0002] 目前，砂轮被广泛应用在硅片成型加工中的研磨工艺和减薄制程中，其主要由台金和研磨齿组成，台金表面开设有沟槽，用于安装研磨齿，研磨齿的高度一般为4mm、5mm以及7mm，由于研磨齿部分嵌在沟槽中，沟槽的深度通常为1mm，这将导致研磨齿最终实际利用部分的高度减少。而在硅片的沿磨加工过程中，砂轮是主要的消耗品，主要体现在研磨齿的磨损消耗，但研磨齿价格昂贵，造价成本高，由此，将导致硅片的加工成本增加。

发明内容

[0003] 有鉴于此，本发明提供一种硅片减薄砂轮，用以解决砂轮的研磨齿利用率低、导致硅片加工成本高的问题。

[0004] 为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

[0005] 本发明实施例提供一种硅片减薄砂轮，包括：

[0006] 环形基体；

[0007] 位于所述环形基体一端面上的至少一圈砂轮齿，所述砂轮齿通过粘接剂与所述环形基体端面固定连接。

[0008] 可选的，所述砂轮齿所在的所述环形基体一端面的粗糙度范围为1.6～800μm。

[0009] 可选的，所述砂轮齿的横截面面积自与所述环形基体连接的一端向另一端逐渐减小。

[0010] 可选的，所述砂轮齿的横截面形状为圆形、椭圆形、多边形中的任意一种。

[0011] 可选的，同一圈中的各所述砂轮齿呈间隔设置，且相邻两个所述砂轮齿的形状互不相同。

[0012] 可选的，所述硅片减薄砂轮还包括：

[0013] 位于所述砂轮齿所在的所述环形基体一端面的至少一圈排水孔，所述一圈排水孔与所述一圈砂轮齿呈同圆心设置。

[0014] 可选的，所述砂轮齿的圈数为两圈，两圈所述砂轮齿呈同圆心设置。

[0015] 可选的，每一所述砂轮齿的质量相同。

[0016] 可选的，所述环形基体采用铝合金材料制成，所述砂轮齿采用金刚石材料制成。

[0017] 本发明上述技术方案的有益效果如下：

[0018] 根据本发明实施例的硅片减薄砂轮，将砂轮齿直接通过粘接剂与环形基体端面固定连接，无需在环形基体端面开设安装槽，从而使砂轮齿的有效利用长度增加，降低了生产成本。

附图说明

[0019] 图1为现有技术中研磨轮的结构示意图；

[0020] 图2为本发明实施例中硅片减薄砂轮的结构示意图；

[0021] 图3为本发明实施例中硅片减薄砂轮的砂轮齿与环形基体的位置示意图；

[0022] 图4为本发明实施例中砂轮齿的截面形状示意图之一；

[0023] 图5为本发明实施例中砂轮齿的截面形状示意图之二；

[0024] 图6为本发明实施例中砂轮齿的截面形状示意图之三；

[0025] 图7为本发明实施例中砂轮齿的截面形状示意图之四；

[0026] 图8为本发明实施例中砂轮齿的截面形状示意图之五；

[0027] 图9为本发明实施例中砂轮齿的截面形状示意图之六；

[0028] 图10为本发明实施例中砂轮齿的截面形状示意图之七。

具体实施方式

[0029] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0030] 请参考图1，图1为现有技术中研磨轮的结构示意图。如图1所示，现有技术中的研磨轮包括台金11和研磨齿12，其中，台金11的安装面上开设了若干沟槽，沟槽的形状与研磨齿12的形状一致，以便将研磨齿12嵌装在沟槽中；由于研磨轮在主轴的带动下高速旋转，与硅片表面发生摩擦，为了确保研磨齿12在台金11上牢固稳定，沟槽需要具备一定的深度，但研磨齿12本身其长度有限，在部分长度嵌入了沟槽之中后，剩余的可用长度就愈少，由此造成研磨齿12的使用率降低。而在硅片的研削加工过程中，研磨轮是主要的消耗品，主要体现在研磨齿12的磨损消耗，但是研磨轮的造价昂贵，在沟槽内部分长度不能使用的情况下，增加了研磨轮的消耗，从而增加了硅片研削加工的成本；而且，每个研磨齿12均为人工粘接在台金11上，相邻的研磨齿12之间的间距存在一定差异，这将造成研磨轮运转使产生振动，影响研削效果；此外，由于现有的研磨齿12形状单一，通常只有圆环形或者圆弧形，其形状直接影响了研磨时产生的粉末的排出效果，由此导致硅片研磨后表面质量下降，存在表面粗糙度高、损伤层深、留有研磨印记等不良现象，并且由于研磨粉末排出不及时、冷却水分布不均，将进一步导致研磨齿12的异常消耗。

[0031] 由此，本发明实施例提供一种硅片减薄砂轮，以解决现有研磨轮存在的上述诸多缺陷。

[0032] 如图2、3所示，本发明实施例中的硅片减薄砂轮包括环形基体21和若干砂轮齿22，其中环形基体21呈圆环状并具有一定厚度，若干砂轮齿22位于环形基体21的一端面上，也就是与环形基体21的中心轴垂直的一端面，若干砂轮齿22呈间隔排布并围成一圈，该圈的中心与该端面的中心重合。与现有技术不同的是，本发明实施例中的砂轮齿22直接通过粘接剂与环形基体21的一端面固定，无需在环形基体21的端面上开设沟槽，由此避免了砂轮齿22部分要嵌入沟槽的情况的发生，从而提高了砂轮齿22的利用率，极大地降低了砂轮的消耗，降低了生产加工成本。

[0033] 本发明实施例中，由于砂轮齿22直接通过粘接剂与环形基体21的一端面固定，为了提高两者之间连接的牢固和稳定，所述环形基体21的用于设置砂轮齿22的该端面的粗糙度范围为1.6～800μm，也就是说，将环形基体21的该端面的粗糙度增大，使得环形基体21与砂轮齿22之间的阻力增大，从而使砂轮齿22在环形基体21上粘接固定得更为牢固，避免了使用过程中发生砂轮齿22掉落的情况；上述端面的粗糙度范围可以根据砂轮的实际转速和用途进行调整。在本发明一些具体实施例中，环形基体21端面的粗糙度可以采用砂轮打磨或印压花纹等方式进行加工控制。

[0034] 在本发明实施例中，为了进一步提高砂轮齿22的结构强度和粘接强度，还可以使砂轮齿22的截面面积自与环形基体21连接的一端向另一端逐渐减小，也就是说，与环形基体21接触的一端面较大，而远离环形基体21的一端较小，通过将砂轮齿22设置成这样的形状，可以实现增强砂轮齿22的结构强度和粘接强度的目的。

[0035] 如图4-10所示，在本发明一些具体实施例中，砂轮齿22的横截面形状可以为任意的平面封闭图形形状，例如圆形、椭圆形、多边形等规则形状图形，也可以是一些不规则的平面封闭图形，例如月牙形，其中，多边形又可以是三角形、四边形、五边形、六边形等等，砂轮齿22的形状可以根据实际的用途需求进行选择。进一步地，还可在砂轮齿22的上端加工倒角等等，通过改变牙齿的形状，以使其更加符合流体力学的原理，便于研磨粉末和冷却水的排出，以增强冷却效果和排屑效果。

[0036] 在本发明的另一些具体实施例中，同一圈中的各个砂轮齿22之间呈间隔设置，而且相邻两个砂轮齿22可以选择不同的形状，例如横截面为圆形的砂轮齿22和横截面为矩形的砂轮齿22，通过选用不同形状的砂轮齿22，可以使得相邻砂轮齿22之间的间隙形状以及砂轮齿22本身更符合流体力学原理，从而进一步提高冷却效果和排屑排水效果。当然，同一圈可以由两种形状的砂轮齿22间隔排布形成，也可以是多种不同形状的砂轮齿22间隔排布形成，本实施例不做具体限定。

[0037] 本发明实施例中，砂轮齿22的圈数可以是一圈、也可以是两圈或多圈，并且每一圈砂轮齿22呈同圆心设置，各圈砂轮齿22的形状可以相同，也可以不同。

[0038] 如图2所示，在本发明另一些实施例中，硅片减薄砂轮还包括至少一圈排水孔23，同一圈中的排水孔23呈间隔设置，并且该圈的圆心与砂轮齿22所在圆圈的圆心位置相同，排水孔23可以设置在砂轮齿22的围合区域内；各排水孔23与环形基体21内部连接的注水通道相连通，用于通过各排水孔23向研磨面注入冷却水，冷却水在砂轮高速旋转下受离心作用甩出，从而作用在研磨面上，一则可以对研磨面进行冷却，二则可以将研磨产生的粉末快速冲走，避免影响散热或者造成硅片研磨面受损。排水孔23的圈数可以是一圈，也可以是两圈或者多圈，具体数量可以根据需要进行调整，例如，在砂轮齿22具有两圈或多圈的情况下，可以适当增加排水孔23的圈数，以满足冷却和排屑的需求。

[0039] 在本发明的一些具体实施例中，砂轮齿22的形状虽然可以各不相同，但是，每个砂轮齿22的质量可以控制几乎相同，相同质量的砂轮齿22在间隔分布于环形基体21的端面上时，可以使得砂轮在高速转动时保持平稳，而不至于因质量分布不均衡而产生一定的偏差，从而确保了研磨加工的质量。

[0040] 本发明的另一些具体实施例中，环形基体21可以采用铝合金材料制成，而砂轮齿22则可以采用金刚石材料制成，从而使形成的砂轮齿22结构强度满足要求。

[0041] 根据本发明实施例提供的硅片减薄砂轮，通过直接将砂轮齿22粘接在环形基体21上，可以提高砂轮齿22的利用率，节约生产成本；而通过改变砂轮齿22的形状，可以使其更符合流体力学原理，从而方便冷却水和研磨粉末的排出，提升研磨加工质量。

[0042] 以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

标题	发布/更新时间	阅读量
一种硅片样品的制备装置及制备方法-专利编号CN110634776A	2020-05-13	800
一种硅片清洗装置、硅片清洗方法以及硅片存放车-专利编号CN110479685A	2020-05-11	1004
一种硅片减薄砂轮-专利编号CN110722465A	2020-05-11	26
一种硅片清洗装置及硅片清洗方法-专利编号CN110323164A	2020-05-11	839
一种硅片缺陷的分析方法及装置-专利编号CN110261270A	2020-05-13	204
一种硅片成型加工方法-专利编号CN110625835A	2020-05-12	30
一种硅片载体及硅片单面抛光装置-专利编号CN110465885A	2020-05-11	403
硅片-专利编号CN101504944A	2020-05-13	139
硅片-专利编号CN101504944B	2020-05-12	548
一种硅片夹持装置-专利编号CN110416150A	2020-05-12	500

一种硅片减薄砂轮

一种硅片减薄砂轮

技术领域

背景技术

发明内容

附图说明

具体实施方式

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式