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一种硅片生产流水线

阅读：805发布：2021-02-28

IPRDB可以提供一种硅片生产流水线专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提出一种硅片生产流水线，包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。，下面是一种硅片生产流水线专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种硅片生产流水线，用于硅片的涂源，其特征在于，所述硅片生产流水线包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第一废液收集桶和所述第一涂源机构连接；所述第一风机和所述第一涂源机构连接，所述第一风机用于抽取所述第一涂源机构内的空气，从而对放置在第一涂源机构内的硅片起到定位作用；所述一号机器人位于所述第一烘干炉和所述第一涂源机构之间，所述第一硅片翻面机构位于所述第一烘干炉远离所述一号机器人的一端；

所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述第二风机和所述第二涂源机构连接，所述第二风机用于抽取所述第二涂源机构内的空气，从而对放置在所述第二涂源机构内的硅片起到定位作用；所述二号机器人位于所述第二烘干炉和所述第二涂源机构之间，所述第二硅片翻面机构位于所述第二烘干炉远离所述二号机器人的一端；

所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。

2.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片生产流水线还包括固定架和支撑架，所述固定架架设在所述垫板上，所述支撑架用于支撑所述垫板；所述上料区还安装有上篮线、花篮提升机、出蓝线和第一缓存机构，所述出蓝线和所述上篮线用于运送花篮，所述上蓝线与所述花篮翻转机构连接，所述花篮提升机位于所述花篮翻转机构靠近所述第一烘干炉的一侧，所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间设有三号机器人，所述工作区还设有第二缓存机构和四号机器人，所述出料区还设有第三缓存机构和五号机器人。

3.根据权利要求2所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片生产流水线还包括第一破片收集组件、第二破片收集组件和第三破片收集组件，所述第一破片收集组件位于所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间，所述第一破片收集组件包括第一破片收集盒、第一光源、第一图像捕捉装置，所述第一图像捕捉装置位于所述第一光源的正上方；所述第二破片收集组件位于所述第一硅片翻面机构和所述第二缓存机构之间，所述第二破片收集组件包括第二破片收集盒、第二光源、第二图像捕捉装置，所述第二图像捕捉装置位于所述第二光源的正上方，所述第三破片收集组件位于所述第二硅片翻面结构和所述第三缓存机构之间，所述第三破片收集组件包括第三破片收集盒、第三光源、第三图像捕捉装置，所述第三图像捕捉装置位于所述第三光源的正上方。

4.根据权利要求2所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片生产流水线还包括不少于一个的显示屏，所述显示屏用于观察和控制所述硅片生产流水线的工作情况；所述支撑架内还设有电气柜组件和机器人控制器。

5.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述第一涂源机构包括多个第一硅片固定台、多个第一马达和多个第一涂源喷嘴，所述第一硅片固定台用于放置硅片，一个所述第一硅片固定台与一个所述第一涂源喷嘴配合，所述第一涂源喷嘴能够将胶体挤出并落到所述硅片固定台的中央；一个所述第一硅片固定台与一个所述第一马达连接，所述第一马达带动所述硅片固定台高速旋转；所述第二涂源机构包括多个第二硅片固定台、多个第二马达和多个第二涂源喷嘴，所述第二硅片固定台用于放置硅片，一个所述第二硅片固定台与一个所述第二涂源喷嘴配合，所述第二涂源喷嘴能够将胶体挤出并落到所述硅片固定台的中央；一个所述第二硅片固定台与一个所述第二马达连接，所述第二马达带动所述硅片固定台高速旋转。

6.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述第一烘干炉还设有第一传送带、第一触摸屏、第一进炉和第一出炉，所述第一传动带用于传送硅片，所述第一触摸屏同于观察和调整所述第一烘干炉的炉温，所述第一进炉用于输入空气，所述第一出炉用于排出废气；所述第二烘干炉还设有第二传送带、第二触摸屏、第二进炉和第二出炉，所述第二传动带用于传送硅片，所述第二触摸屏同于观察和调整所述第二烘干炉的炉温；所述第二进炉用于输入电气，所述第二出炉用于排出废气，所述第一烘干炉与所述第二烘干炉平行设置，所述第一烘干炉与所述第二烘干炉安装的方向相反。

7.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述第一硅片翻面机构包括第一硅片翻面装置和第一硅片横移装置，所述第一硅片翻面装置设有第一吸盘，所述第一吸盘用于固定硅片，所述第一硅片翻面装置能够带动硅片180度翻转，所述第一硅片横移装置能够带动硅片在水平方向上移动；所述第二硅片翻面机构包括第二硅片翻面装置和第二硅片横移装置，所述第二硅片翻面装置设有第二吸盘，所述第二吸盘用于固定硅片，所述第二硅片翻面装置能够带动硅片180度翻转，所述第二硅片横移装置能够带动硅片在水平方向上移动。

8.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述四轴机器人包括第一轴、两个平行设置的第二轴、第三轴和机械爪，所述机械爪的一端设有置物槽，所述机械爪能够分别沿所述第一轴、所述第二轴和所述第三轴移动，所述机械爪能带动所述置物槽旋转。

9.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片洒粉机构设有开口、开门装置、定位装置、漏斗和洒粉装置，所述开门装置用于控制所述开口的露出和遮挡，所述定位装置用于限制硅片的位置，所述漏斗放置在所述洒粉装置上，所述洒粉装置用于给硅片洒粉。

10.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片生产流水线还设有多个过滤风机，所述过滤风机用于将所述硅片生产流水线内的空气进行过滤并排放到大气中。

说明书全文

一种硅片生产流水线

技术领域

[0001] 本发明涉及硅片生产设备领域，尤其是一种硅片生产流水线。

背景技术

[0002] 太阳能是一种清洁环保的能源，在太阳能设备的制备中需要用到硅片，在硅片的制造过程中，需要对硅片涂覆扩散层，需要经过多道工艺，现有的制作方式是采用人工涂源、人工翻面，人工搬运的方式进行加工生产。产生的硅片成品良莠不齐，废片率高，同时又耗费大量人工，导致硅片成本高、效率低。因此需要一种硅片生产的工业流水线，能够提升硅片优品率，提高硅片加工效率，减少人工成本的硅片生产流水线。

发明内容

[0003] 为了解决上述问题，本发明提出一种能够提高硅片加工效率、提高硅片优品率同时降低成本的硅片生产流水线。

[0004] 本发明通过以下技术方案实现的：

[0005] 本发明提出一种硅片生产流水线，用于硅片的涂源，所述硅片生产流水线包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第一废液收集桶和所述第一涂源机构连接；所述第一风机和所述第一涂源机构连接，所述第一风机用于抽取所述第一涂源机构内的空气，从而对放置在第一涂源机构内的硅片起到定位作用；所述一号机器人位于所述第一烘干炉和所述第一涂源机构之间，所述第一硅片翻面机构位于所述第一烘干炉远离所述一号机器人的一端；

[0006] 所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述第二风机和所述第二涂源机构连接，所述第二风机用于抽取所述第二涂源机构内的空气，从而对放置在所述第二涂源机构内的硅片起到定位作用；所述二号机器人位于所述第二烘干炉和所述第二涂源机构之间，所述第二硅片翻面机构位于所述第二烘干炉远离所述二号机器人的一端；

[0007] 所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。

[0008] 进一步的，所述硅片生产流水线还包括固定架和支撑架，所述固定架架设在所述垫板上，所述支撑架用于支撑所述垫板；所述上料区还安装有上篮线、花篮提升机、出蓝线和第一缓存机构，所述出蓝线和所述上篮线用于运送花篮，所述上蓝线与所述花篮翻转机构连接，所述花篮提升机位于所述花篮翻转机构靠近所述第一烘干炉的一侧，所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间设有三号机器人，所述工作区还设有第二缓存机构和四号机器人，所述出料区还设有第三缓存机构和五号机器人。

[0009] 进一步的，所述硅片生产流水线还包括第一破片收集组件、第二破片收集组件和第三破片收集组件，所述第一破片收集组件位于所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间，所述第一破片收集组件包括第一破片收集盒、第一光源、第一图像捕捉装置，所述第一图像捕捉装置位于所述第一光源的正上方；所述第二破片收集组件位于所述第一硅片翻面机构和所述第二缓存机构之间，所述第二破片收集组件包括第二破片收集盒、第二光源、第二图像捕捉装置，所述第二图像捕捉装置位于所述第二光源的正上方，所述第三破片收集组件位于所述第二硅片翻面结构和所述第三缓存机构之间，所述第三破片收集组件包括第三破片收集盒、第三光源、第三图像捕捉装置，所述第三图像捕捉装置位于所述第三光源的正上方。

[0010] 进一步的，所述硅片生产流水线还包括不少于一个的显示屏，所述显示屏用于观察和控制所述硅片生产流水线的工作情况；所述支撑架内还设有电气柜组件和机器人控制器。

[0011] 进一步的，所述第一涂源机构包括多个第一硅片固定台、多个第一马达和多个第一涂源喷嘴，所述第一硅片固定台用于放置硅片，一个所述第一硅片固定台与一个所述第一涂源喷嘴配合，所述第一涂源喷嘴能够将胶体挤出并落到所述硅片固定台的中央；一个所述第一硅片固定台与一个所述第一马达连接，所述第一马达带动所述硅片固定台高速旋转；所述第二涂源机构包括多个第二硅片固定台、多个第二马达和多个第二涂源喷嘴，所述第二硅片固定台用于放置硅片，一个所述第二硅片固定台与一个所述第二涂源喷嘴配合，所述第二涂源喷嘴能够将胶体挤出并落到所述硅片固定台的中央；一个所述第二硅片固定台与一个所述第二马达连接，所述第二马达带动所述硅片固定台高速旋转。

[0012] 进一步的，所述第一烘干炉还设有第一传送带、第一触摸屏、第一进炉和第一出炉，所述第一传动带用于传送硅片，所述第一触摸屏同于观察和调整所述第一烘干炉的炉温，所述第一进炉用于输入空气，所述第一出炉用于排出废气；所述第二烘干炉还设有第二传送带、第二触摸屏、第二进炉和第二出炉，所述第二传动带用于传送硅片，所述第二触摸屏同于观察和调整所述第二烘干炉的炉温；所述第二进炉用于输入电气，所述第二出炉用于排出废气，所述第一烘干炉与所述第二烘干炉平行设置，所述第一烘干炉与所述第二烘干炉安装的方向相反。

[0013] 进一步的，所述第一硅片翻面机构包括第一硅片翻面装置和第一硅片横移装置，所述第一硅片翻面装置设有第一吸盘，所述第一吸盘用于固定硅片，所述第一硅片翻面装置能够带动硅片180度翻转，所述第一硅片横移装置能够带动硅片在水平方向上移动；所述第二硅片翻面机构包括第二硅片翻面装置和第二硅片横移装置，所述第二硅片翻面装置设有第二吸盘，所述第二吸盘用于固定硅片，所述第二硅片翻面装置能够带动硅片180度翻转，所述第二硅片横移装置能够带动硅片在水平方向上移动。

[0014] 进一步的，所述四轴机器人包括第一轴、两个平行设置的第二轴、第三轴和机械爪，所述机械爪的一端设有置物槽，所述机械爪能够分别沿所述第一轴、所述第二轴和所述第三轴移动，所述机械爪能带动所述置物槽旋转。

[0015] 进一步的，所述硅片洒粉机构设有开口、开门装置、定位装置、漏斗和洒粉装置，所述开门装置用于控制所述开口的露出和遮挡，所述定位装置用于限制硅片的位置，所述漏斗放置在所述洒粉装置上，所述洒粉装置用于给硅片洒粉。

[0016] 进一步的，所述硅片生产流水线还设有多个过滤风机，所述过滤风机用于将所述硅片生产流水线内的空气进行过滤并排放到大气中。

[0017] 本发明的有益效果：

[0018] 本发明的硅片生产流水线自动化程度高，硅片涂源的多个流程能够通过所述硅片生产流水线完成，减少了人工成本，提高了硅片的生产效率和优品率。

附图说明

[0019] 图1为所述硅片生产流水线的一种视角的示意图；

[0020] 图2为所述硅片生产流水线的另一种视角的示意图；

[0021] 图3为去除了所述过滤风机和所述固定架的所述硅片生产流水线的一种视角的示意图；

[0022] 图4为去除了所述支撑架的所述硅片生产流水线的一种视角的示意图；

[0023] 图5为去除所述第一涂源机罩后的所述第一涂源机构的结构示意图；

[0024] 图6为所述硅片洒粉机构的结构示意图；

[0025] 图7为所述第一硅片翻面机构的结构示意图；

[0026] 图8为所述硅片翻转机构的结构示意图；

[0027] 图9为所述四轴机器人的结构示意图；

[0028] 图10为所述第一缓存机构的结构示意图；

[0029] 图11为所述一号机器人的结构示意图；

[0030] 图12为所述二号机器人的结构示意图；

[0031] 图13为所述托盘输送机构的结构示意图；

[0032] 图14为所述出蓝线的结构示意图；

[0033] 图15为所述上篮线的结构示意图；

[0034] 图16为所述第一破片收集组件的结构示意图；

[0035] 图17为所述花篮提升机的结构示意图；

[0036] 图18为三号机器人的结构示意图；

[0037] 图19为所述第一烘干炉和所述第二烘干炉的结构示意图。

具体实施方式

[0038] 为了更加清楚、完整的说明本发明的技术方案，下面结合附图对本发明作进一步说明。

[0039] 请参考图1到图19,本发明提出一种硅片生产流水线，用于硅片的涂源，所述硅片生产流水线包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构21、第一废液收集桶22、第一风机23，第一烘干炉24、第一硅片翻面机构25和一号机器人11，所述第一涂源机构21用于给硅片的一面涂源，所述第一废液收集桶22和所述第一涂源机构21连接，优选的，所述第一废液收集桶22通过导管与所述第一涂源机构21连接。所述第一废液收集桶22用于收集所述第一涂源机构21在涂源过程中产生的废液。所述第一风机23和所述第一涂源机构21连接，所述第一风机23用于抽取所述第一涂源机构21内的空气，从而对放置在所述第一涂源机构21内的硅片起到定位作用。所述一号机器人11位于所述第一烘干炉24和所述第一涂源机构21之间。所述一号机器人11设有第一机器手111、第一机身113，第一滑轨112、第一移动装置114和第二移动装置115。所述第一机身113能够沿所述第一滑轨112做往复运动，所述第一移动装置114能够以所述第一机身113为轴心在水平方向上360度转动，所述第二移动装置115能够以第一移动装置114为轴心在水平方向上360度转动，所述所述第一机器手能够以所述第二移动装置115为轴心，在水平方向上360度转动。优选的，为了不破坏硅片涂源后的均匀度，所述第一机器手111为夹具。所述一号机器人
11能够将完成一面涂源的硅片从所述第一涂源机构21中取出并运到所述第一烘干炉24上。
具体的，所述第一机器手111夹住一面涂源的硅片的两端，所述第一机身113在所述第一滑轨112上移动，所述第一移动装置114、所述第二移动装置115和第一机器手111根据预设的角度转动，从而改变硅片与所述第一烘干炉24之间的距离，使得所述第一机器手111将硅片送入第一烘干炉24。所述第一烘干炉24能够将涂源的硅片烘干。所述第一硅片翻面机构25位于所述第一烘干炉24远离所述一号机器人11的一侧，所述第一硅片翻面机构25能够接收从所述第一烘干炉24传送来的硅片并将硅片翻转180度，使得硅片未经过涂源的一面朝向上。

[0040] 所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构31、第二废液收集桶32、第二风机33、第二烘干炉34、第二硅片翻面机构35和二号机器人22。所述第二废液收集桶32和所述第二涂源机构31连接，优选的，所述第二废液收集桶32能够通过导管与所述第二涂源机构31连接。所述第二风机33和所述第二涂源机构31连接。所述第二风机33用于抽取所述第二涂源机构
31内的空气。所述第二涂源机构31对硅片未经过涂源的一面进行涂源，所述第二废液收集桶32同于收集所述第二涂源机构31在涂源过程中产生的废液。所述第二风机33不停将所述第二涂源机构31内的空气抽出，从而对放置在所述第二涂源机构31内的硅片起到定位的作用。所述二号机器人22位于所述第二烘干炉34和所述第二涂源机构31之间，所述二号机器人22能够将完成涂源的硅片从所述第二涂源机构31转运到所述第二烘干炉34内。优选的，所述二号机器人12设有第二机器手121、第二机身122、第三移动装置123、第四移动装置
114.由于硅片二次涂原后的一面是湿的，为了不破坏硅片涂源的均匀度，所述第二机器手
121是夹具，所述第三移动装置能够以所述第二机身122为轴心在水平方向上360度转动，所述第四移动装置124能够以所述第三移动装置123为轴心在水平方向上360度转动，所述第二机器手121能够以所述第四移动装置124为轴心在水平方向上360度转动。所述第二机器手121夹住二次涂源的硅片的两端，所述第二机器手121、所述第三移动装置123、所述第四移动装置124根据预设的角度转动，所述第二机器手121将硅片从第二涂源机构32取出并送入第二烘干炉34。所述第二烘干炉34将硅片烘干。所述第二硅片翻面机构35位于所述第二烘干炉34远离所述二号机器人22的一侧。所述第二硅片翻面机构35能够将硅片进行180度翻转。

[0041] 所述硅片生产流水线还包括垫板62，所述垫板62被划分为上料区621、工作区622和出料区623，所述上料区621上设有有花篮翻转机构45、所述出料区623设有硅片洒粉机构51、四轴机器人52和托盘输送机构54，所述花篮翻转机构45能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，使花篮由水平状态变为竖直状态。所述硅片洒粉机构51位于所述第二硅片翻面机构35和所述四轴机器人52之间，所述硅片洒粉机构51能够对硅片均匀撒粉，防止涂源完成后的硅片粘连在一起。所述四轴机器人52能够将洒粉完成的硅片使用硅舟收集并转运到所述托盘输送机构54上，所述托盘输送机构54将硅舟输出，方便工作人员进行收集。本发明的硅片生产流水线自动化程度高，实现了硅片涂源过程的流水化作业，提高了硅片优品率，提高了生产效率，降低了人工成本，适合工业上批量加工硅片。

[0042] 请参考图1到图19，所述硅片生产流水线还包括固定架61和支撑架71，所述固定架61架设在所述垫板62上，所述固定架61设有固定支架613、封板611和推拉门612，所述固定支架613为铝支架，具有牢固、轻盈的优点。所述封板611为透明亚克力封板611，从而透过封板611，工作人员可以看到所述硅片生产流水线内部的运行情况。所述推拉门612能够在水平方向上做相对移动，需要时，工作人员打开推拉门612处理工作。所述所述支撑架71用于支撑所述垫板62。所述支撑架71包括盖板711和支撑支架712，所述盖板711用于保护所述支撑架71内的设备，并具有密封的功能，所述支撑支架712为钢架，具有稳固，不易生锈、支撑力强的优点。所述上料区621还安装有上篮线41、花篮提升机42、出蓝线43和第一缓存机构
44，所述出蓝线43和所述上篮线41用于运送花篮。优选的，所述上篮线41与所述花篮翻转机构45连接。所述上篮线41还设有第一传送带411，所述第一传送带411用于传动装满硅片的花篮，所述第一传动带411还用于限制花篮在传动中的位置，从而所述上篮线41和所述花篮翻转机构45能够完成花篮的输送衔接。所述花篮提升机42位于所述花篮翻转机构45靠近所述第一烘干炉24的一侧，所述花篮提升机42和所述第一缓存机构44之间设有三号机器人
13，所述工作区622还设有第二缓存机构27和四号机器人14，所述出料区623还设有第三缓存机构53和五号机器人15。在本实施例中，所述三号机器人、所述四号机器人、所述五号机器人的结构相同。所述三号机器人设有第三机器手131、第三机身132、第五移动装置133和第六移动装置134，所述第三机器手131优选为吸盘，所述第三机器手能够以所述第六移动装置134为轴心在水平方向上360度转动，所述第六移动装置134能够以所述第五移动装置
133为轴心在水平方向上360度转动，所述第五移动装置133能够以所述第三机身132为轴心在水平方向上360度转动。在传输硅片时，所述第三机器手131吸住硅片，所述第三机器手
131、所述第五移动装置133、所述第六移动装置134根据预设的角度转动，将硅片运到第一涂源机构21.

[0043] 在生产时，工作人员将装满了硅片的花篮放入所述上篮线41，所述上篮线41将花篮传输，所述花篮翻转机构45和所述上篮线41衔接，所述花篮翻转机构45接收从所述第二传送带242传送的花篮并将花篮进行90度翻转，使花篮由水平状态变为竖直状态。所述花篮翻转机构45和所述花篮提升机42衔接，所述花篮提升机42包括花篮定位装置421和花篮提升装置422，所述花篮提升机42将所述花篮翻转机构45传输过来的竖直状态的花篮放置在花篮定位装置421上，所述三号机器人13将硅片从花篮中一片片依次抽出，由于花篮中的硅片被抽走，为了保持花篮中的硅片的高度与所述三号机器人13抽取的高度一致，所述花篮提升装置422缓慢提升花篮，从而保证工序的正常进行。当花篮中的硅片全部被抽走后，空的花篮通过出蓝线43传输。所述的硅片生产流水线在上料的过程中自动化程度高，整套程序连贯，省时省力，提高了工作效率。

[0044] 请参考图1到图19，所述硅片生产流水线还包括第一破片收集组件46、第二破片收集组件和第三破片收集组件，所述第一破片收集组件46位于所述花篮提升机42和所述第一缓存机构44之间，所述第一破片收集组件46包括第一破片收集盒462、第一光源461、第一图像捕捉装置463，所述第一图像捕捉装置463位于所述第一光源461的正上方。所述硅片生产流水线还包括不少于一个的显示屏，具体的，所述显示屏具有两个，分别为位于所述工作区622一侧的第二显示屏65和位于所述上料区621一侧的第一显示屏64。所述三号机器人13将硅片从花篮中抽出后，所述三号机器人13将硅片放到第一光源461的正上方，所述第一图像捕捉装置463采集硅片的图像并将图像显示在第一显示屏64，工作人员根据看到硅片的图像判断硅片是否为破片，如果是破片，工作人员控制三号机器人13将破片放入第一破片收集盒462，如果是完整的硅片，工作人员控制三号机器人13将硅片放置到所述第一涂源机构
21进行下一步的操作。由于检测硅片是否为破片的过程耗费的时间长，为了保证所述花篮提升机42的照常运行，所述三号机器人13能够将硅片从所述花篮提升机42上的花篮中一片片抽出并放到所述第一缓存机构44。从而保证设备的连贯运行。优选的，在本实施例中，所述第一缓存机构44包括用于放置硅片的硅片架442和硅片架提升装置441.所述硅片架442设有用于放置硅片的卡槽443，所述三号机器人13吸取硅片的高度固定不变，因此，在放置的过程中，所述硅片架提升装置441缓慢提升所述硅片架442，使得三号机器人能够将硅片依次放在所述卡槽443上。所述第二破片收集组件位于所述第一硅片翻面机构25和所述第二缓存机构27之间，所述第二缓存机构27与所述第一缓存机构44的结构相同。所述第二破片收集组件包括第二破片收集盒262、第二光源261、第二图像捕捉装置。所述硅片生产流水线还设有第三传送带28，所述第一硅片翻面机构25将完成翻面的硅片放置在所述第三传送带28上，所述四号机器人14将硅片从所述第三传送带28上吸起来并将硅片放置到所述第二光源261的上方，所述第二光源261对硅片打光，所述第二图像捕捉装置对硅片的图像进行捕捉并显示在第二显示屏65上，工作人员可以观察硅片是否为破片，如果是破片，则控制四号机器人14将破片放入第二破片收集盒262，如果是完整的硅片，四号机器人14将硅片放入第二涂源机构31进行下一步的操作。观察硅片的过程耗时长，为了保证设备的正常运行，工作人员能够控制四号机器人14将从传送带接收的硅片先插入所述第二缓存机构27，而后再从第二缓存机构27中抽取硅片进行检查。所述第三破片收集组件位于所述第二硅片翻面结构和所述第三缓存机构53之间，所述第三缓存机构53与所述第一缓存机构44的结构相同。
所述第三破片收集组件包括第三破片收集盒、第三光源、第三图像捕捉装置，所述第三图像捕捉装置位于所述第三光源的正上方，所述五号机器人15吸取第二翻面机构上的硅片并将其放置到所述第三光源的上方，所述第三光源对硅片打光，所述第三图像捕捉装置捕捉硅片的图像并将其传递到所述第一显示屏64，工作人员可以观察硅片的图像判断硅片是否为破片，硅片是破片，五号机器人15将破片放入第三破片收集盒，硅片完整，五号机器人15则将硅片投入所述硅片洒粉机构51进行下一步的操作。观察破片需要耗费较长的时间，为了保证设备的正常运行，五号机器人15能够将硅片翻面机构上的硅片先放置到第三缓存机构
53内，而后再对第三缓存机构53内的硅片进行观察处理。在本实施例中，所述第一图像捕捉装置463、所述第二图像捕捉装置、所述第三图像捕捉装置的结构相同，优选的，所述第一图像捕捉装置463可以是工业相机或者是其他能够实现图像捕捉和传递的装置，在本实施例中，所述第一图像捕捉装置463、所述第二图像捕捉装置、所述第三图像捕捉装置能够通过安装板或者是支架等实现与所述固定架61连接，在另一实施例中，所述第一图像捕捉装置
463、所述第二图像捕捉装置、所述第三图像捕捉装置能够通过安装板或者是支架等实现与所述垫板62的连接。

[0045] 在本实施例中，所述第一显示屏64还能够用于观察和控制所述工作区622的工作情况，包括处理所述第二图像捕捉装置传递的硅片图像。所述第二显示屏65用于观察和控制所述上料区621和所述出料区623的工作情况，包括处理所述第一图像捕捉装置463和所述第三图像捕捉装置的图像。所述支撑架71内还设有电气柜组件81和机器人控制器91。所述电气柜组件81用于对所述硅片生产流水线提供电力支持，所述机器人控制器91用于控制上述所有机器人。

[0046] 请参考图3和图5，所述第一涂源机构21包括第一涂源机罩(未标号)多个第一硅片固定台211、多个第一马达213和多个第一涂源喷嘴212。具体的，所述第一涂源机罩上设有多个第一开口，所述三号机器人13能够通过所述第一开口传送硅片。所述一号机器人11能够通过所述第一开口夹取涂源的硅片。所述第一涂源机罩能够避免涂源过程中涂源液体飞出。所述第一硅片固定台211具有3个，所述第一马达213具有3个，所述第一涂源喷嘴212具有3个。所述第一涂源机构21能够同时对三个硅片进行涂源，相比人工作业，提高了生产效率。所述第一硅片固定台211用于放置硅片，一个所述第一硅片固定台211与一个所述第一涂源喷嘴212配合，所述第一涂源喷嘴212能够将涂源胶体挤出并落到所述硅片固定台的中央，一个所述第一硅片固定台211与一个所述第一马达213连接，所述第一马达213带动所述硅片固定台高速旋转。当所述第一固定台上放置有硅片时，所述第一涂源喷嘴212将涂源胶体挤出并落到硅片的中央。所述第一马达213带动硅片高速旋转，从而将涂源胶体均匀地覆盖在硅片上，所述第一风机23不停将空气从所述第一涂源机构21抽出，从而保证硅片在高速旋转的过程中受到风力的吸力，不会从所述第一涂源机构21飞出。所述第二涂源机构31包括第二涂源机罩、多个第二硅片固定台、多个第二马达和多个第二涂源喷嘴，具体的，所述第二硅片固定台、所述第二马达和所述第二涂源喷嘴的数量均为三个，所述第二涂源机构31能够同时对三个硅片进行涂源，相比于人工作业，提高了生产效率。当所述第二硅片固定台上放置有硅片时，所述第二涂源喷嘴将涂源胶体挤出并落到硅片的中央。所述第二马达带动硅片高速旋转，从而将涂源胶体均匀地覆盖在硅片上，所述第二风机33不停将空气从所述第二涂源机构31抽出，从而保证硅片在高速旋转的过程中受到风力的吸力，不会从所述第二涂源机构31飞出。在本实施例中，所述第一涂源机构21和所述第二涂源机构31的结构相同，所述第一涂源机构21与所述第二涂源机构31涂源的胶体不同，[0047] 请参考图3和图5，所述第一烘干炉24还设有第二传送带242、第一触摸屏241、第一进炉243和第一出炉244，所述第一传动带用于传送硅片，所述第一触摸屏241同于观察和调整所述第一烘干炉24的炉温。所述第一进炉243用于输入电气，所述第一出炉244用于排出空气；所述第二烘干炉34还设有第二传送带、第二触摸屏、第二进炉和第二出炉，所述第二传动带用于传送硅片，所述第二触摸屏同于观察和调整所述第二烘干炉34的炉温。所述第二进炉用于输入电气，所述第二出炉用于排出空气，所述第一烘干炉24与所述第二烘干炉34平行设置，所述第一烘干炉24与所述第二烘干炉34安装的方向相反。

[0048] 请参考图7，所述第一硅片翻面机构25包括第一硅片翻面装置251和第一硅片横移装置252，所述第一硅片翻面装置251设有第一吸盘253，所述第一吸盘253用于固定硅片，所述第一硅片翻面装置251能够带动硅片180度翻转，所述第一硅片横移装置252能够带动硅片在水平方向上移动，工作时，所述第一吸盘253从所述第二传送带242上吸取硅片，由于硅片在所述第二传送带242上的位置不同，所述第一硅片横移装置252先横移到要吸取的硅片的相对位置，所述第一吸盘253吸住硅片，所述第一硅片横移装置252复位，所述第一硅片翻转装置带动硅片翻转180度，使得硅片未经过涂源的一面朝上。所述第二翻面机构的结构与所述第一翻面装置的结构相同。所述第二硅片翻面机构35包括第二硅片翻面装置和第二硅片横移装置，所述第二硅片翻面装置设有第二吸盘，所述第二吸盘用于固定硅片，所述第二硅片翻面装置能够带动硅片180度翻转，所述第二硅片横移装置能够带动硅片在水平方向上移动。工作时，所述第二吸盘从所述第二传送带上吸取硅片，由于硅片在第二传送带上的位置不同，所述第二硅片横移装置先横移到要吸取的硅片的相对位置，所述吸盘吸住硅片，所述第二硅片横移装置复位，所述第二硅片翻转装置带动硅片翻转180度。

[0049] 请参考图9和图13，所述四轴机器人52包括第一轴521、两个平行设置的第二轴523、第三轴522和机械爪524，所述机械爪524的一端设有置物槽525，所述置物槽525用于放置硅舟。所述机械爪524能够分别沿所述第一轴521、所述第二轴523和所述第三轴522移动，所述机械爪524能带动所述置物槽525旋转。在工作时，当所述硅片洒粉机构51内存储的硅片到达系统预设值时，所述机械爪524抓取空的硅舟放置在置物槽525内，所述硅舟为竖直方向，所述机械爪524带动硅舟移动，将洒粉完毕的硅片收取到硅舟内。而后所述机械爪524带动所述置物槽525旋转90度，使得所述硅舟由竖直状态改为水平状态，而后所述机械爪
524将硅舟从所述硅片洒粉机构51中取出，所述机械爪524沿所述第二轴523移动，将硅舟水平移动到所述托盘输送机构54的上方，而后所述机械爪524沿所述第一轴521移动，将所述硅舟放置到所述托盘输送机构54上，再由所述托盘输送装置将硅舟输出，从而实现硅舟的自动化输送，自动化程度高，提升工作效率。优选的，所述托盘输送装置54包括托盘541和第二滑轨542，所述托盘541能够沿所述第二滑轨542做往复运动，从而完成硅舟的传输。

[0050] 请参考图6，所述硅片洒粉机构51设有开口513、开门装置514、定位装置515、漏斗511和洒粉装置512，所述开门装置514用于控制所述开口513的露出和遮挡，所述定位装置
515用于限制硅片的位置，所述漏斗511放置在所述洒粉装置512上方，所述漏斗511内装有氧化铝粉末，所述洒粉装置512用于给硅片洒粉。所述开门装置514控制开口513露出时，所述五号机器人15将硅片从所述开口513投入，所述定位装置515对硅片定位，从而限制硅片自由落体后的位置。所述洒粉装置512左右晃动，带动所述漏斗511左右移动，从而对硅片均匀洒粉，防止硅片产生粘连。在本实施例中，所述硅片洒粉装置512内的硅片数量达到预设的高度，具体的，达到500片硅片叠加的高度时，硅片会被移走。

[0051] 请参考图1和图2，所述硅片生产流水线还设有多个过滤风机63，所述过滤风机63用于将所述硅片生产流水线内的空气进行过滤并排放到大气中。对硅片涂源使用的是硼溶液或是磷溶液，具有挥发性，因此，所述过滤风机63能够将所述硅片生产流水线内的空气进行过滤并排放到大气中，从而保持厂房空气清新，同时也避免污染环境。

[0052] 当然，本发明还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本发明所保护的范围。

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一种硅片生产流水线

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